HEPS は基本的に EUV 対応光源については何も言及していないため、90 個の HEPS「ステーション」と 90 個のスキャナーを意味のある形で比較することはできません。
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1 件のツイート · 2025/10/31 2:27
HEPS は基本的に EUV 対応光源については何も言及していないため、90 個の HEPS「ステーション」と 90 個のスキャナーを意味のある形で比較することはできません。